TK-FUJIKIN社製の超高清浄インラインガスフィルターは、半導体製造プロセス
向けに開発された製品です。

・高い除粒子高価および、ろ過精度　　　　　　粒子捕捉率　　：99.9999999%
・耐圧性および、耐腐食性　　　　　　　　　　ろ過精度　　　：0.0025μm
・優れたガス置換特性　　　　　　　　　　　　ハウジング材質：316Lステンレススチール
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　：ハステロイC-22
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　内面仕上げ　　：≦Ra 5μinch（≒0.127μm）

＜特長＞
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc/sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μm以上未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包しております。

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ステンレス製　ガスフィルター（エレメント：金属焼結タイプ）

PTFE ガスフィルター（エレメント：PTFE膜タイプ）

PTFEエレメントは、耐腐食性および高純度の半導体プロセスガスに対し、優れた適合性を有しております。

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