インラインガスフィルター製品
TK-FUJIKIN社製の超高清浄インラインガスフィルターは、半導体製造プロセス向けに開発された製品です。
- 高い除粒子高価および、ろ過精度
- 耐圧性および、耐腐食性
- 優れたガス置換特性
粒子捕捉率 | 99.9999999% |
ろ過精度 | 0.0025μm |
ハウジング材質 | SUS316L |
内面仕上げ | ≦Ra 5μinch（≒0.127μm） |
＜特長＞
- 100% Heリーク試験済（1.0×10-9 atm・cc/sec）
- 100% パーティクル試験済（0.0025μm以上未検出）
- クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包しております。
ステンレス製 ガスフィルター（エレメント：金属焼結タイプ）
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PTFE ガスフィルター（エレメント：PTFE膜タイプ）
PTFEエレメントは、耐腐食性および高純度の半導体プロセスガスに対し、優れた適合性を有しております。
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