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高純度ガス用フィルター

インラインガスフィルター製品

TK-FUJIKIN社製の超高清浄インラインガスフィルターは、半導体製造プロセス向けに開発された製品です。
  • 高い除粒子高価および、ろ過精度
  • 耐圧性および、耐腐食性
  • 優れたガス置換特性
粒子捕捉率
99.9999999%
ろ過精度
0.0025μm
ハウジング材質
SUS316L
内面仕上げ
≦Ra 5μinch(≒0.127μm)
<特長>
  • 100% Heリーク試験済(1.0×10-9 atm・cc/sec)
  • 100% パーティクル試験済(0.0025μm以上未検出)
  • クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包しております。

ステンレス製 ガスフィルター(エレメント:金属焼結タイプ)

ガス ディフューザー カタログ(391KB) 注目

SS-Aシリーズ(395KB)

  • 流量範囲 15~300SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 SUS316L(シングル / ダブルメルト)
  • 高温、高圧用途にもご使用できます。
  • 最高入口圧力:21MPa@20℃/最大使用温度:460℃(不活性ガス)

SS-Cシリーズ(247KB)

  • 流量範囲 1,500SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 SUS316L
  • 高温用途にもご使用できます。
  • 最高入口圧力:0.98MPa@20℃/最大使用温度:460℃(不活性ガス)

SS-Hシリーズ(345KB)

  • 流量範囲 100~600SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 SUS316L(シングル / ダブルメルト)
  • 高温用途にもご使用できます。
  • 最高入口圧力:12MPa@20℃/最大使用温度:460℃(不活性ガス)

MFSシリーズ(1199KB)

  • 流量範囲 40SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 SUS316L
  • 高温、高圧用途にもご使用できます。
  • 最大使用温度:460℃(不活性ガス)

PTFE ガスフィルター(エレメント:PTFE膜タイプ)

PTFEエレメントは、耐腐食性および高純度の半導体プロセスガスに対し、優れた適合性を有しております。

ST-Aシリーズ(354KB)

  • 流量範囲 50~150SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 PTFE製
  • 最高入口圧力:0.98MPa@20℃/最大使用温度:120℃(不活性ガス)

ST-Bシリーズ(294KB)

  • 流量範囲 ~600SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 PTFE製
  • 最高入口圧力:0.98MPa@20℃/最大使用温度:120℃(不活性ガス)

ST-Cシリーズ(390KB)

  • 流量範囲 1,500~7,500SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 PTFE製
  • 最高入口圧力:0.98MPa@20℃/最大使用温度:100℃(不活性ガス)

ST-H MAXシリーズ(366KB)

  • 流量範囲 150~300SLPM(9LRV)
  • エレメント材質 PTFE製
  • 最高入口圧力:0.98MPa@20℃/最大使用温度:120℃(不活性ガス)

バリューインパクト有限会社
〒231-0023
神奈川県横浜市中区山下町24番地8
TEL.045-212-2731
FAX.045-212-2736
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